Produits
FFKM haute pureté
FFKM à faible dégazage et faible extractible pour procédés sensibles à la contamination.
Les composés FFKM haute pureté sont formulés et mis en œuvre pour minimiser le dégazage et la contamination extractible — les deux mécanismes qui limitent le plus souvent le rendement dans les procédés semi-conducteurs et sous vide.
Certaines nuances sélectionnées visent une perte de masse totale (TML) et une masse de matières volatiles condensables recueillies (CVCM) très faibles, mesurées selon ASTM E595, ainsi que de faibles teneurs en ions métalliques extractibles et une faible génération de particules.
Caractéristiques clés
- Formulé pour un faible dégazage et de faibles extractibles
- Objectifs TML ≤ 0,1 % et CVCM ≤ 0,01 % selon ASTM E595 — à remplacer par le rapport d'essai du client avant mise en service
- Teneur réduite en ions métalliques extractibles (OMS7102 est la nuance à faible teneur en ions métalliques)
- Faible génération de particules, adaptée aux procédés en salle blanche
- Conçu pour l'étanchéité en plasma, gravure, CVD et UHV
Spécifications
- TML / CVCM
- Par nuance, ASTM E595 — rapport d'essai client
- Ions métalliques extractibles
- Réduite — OMS7102 est la nuance à faible teneur en ions métalliques
- Génération de particules
- Faible — adaptée aux procédés en salle blanche
- Post-cuisson / nettoyage
- Disponible sur demande
- Vide ultime
- Jusqu'à 1,33 × 10⁻⁷ Pa (essai interne) — données client
- Température de service
- Jusqu'à +320 °C (OME7505)
Applications typiques
- Chambres de gravure plasma / ashing et de dépôt
- Distribution de gaz, raccords KF et collecteurs
- Hublots, vannes à fente et sas de transfert
- Systèmes à ultra-vide (UHV)
Normes
ASTM E595 · ASTM D1418 · SEMI F57 (contexte)
Nuances utilisées dans cette gamme de produits
Demander un devis
Demander un devis pour FFKM haute pureté
Six étapes courtes. Aucun compte requis, et les plans sont les bienvenus à la dernière étape.
Demande reçue
Votre demande a été enregistrée. Un ingénieur vous recontactera sous un jour ouvré.
Votre référence : —
Une copie a été envoyée à nos équipes techniques et commerciales. Si vous n'avez pas de réponse sous un jour ouvré, répondez à l'e-mail de confirmation en indiquant la référence ci-dessus.
Continuer à parcourir les nuancesBesoin d'aide pour choisir un compound FFKM ?
Envoyez-nous vos conditions de service ou un plan et nos ingénieurs vous recommanderont une nuance et confirmeront la disponibilité.