应用场景
高温工况
面向炉具与热工艺的全氟醚密封方案，多款牌号支持连续工况至 320 °C，按牌号给出完整测试条件。
常见失效问题
- 250 °C 以上压缩永久变形加速，导致泄漏
- 反复热循环使常规弹性体硬化
- 高温工艺同时对低释气提出要求
工艺环节
扩散与热氧化RTP 与外延炉体与烘箱密封
设备部位
热工艺腔体炉门与密封件排气与气体管路灯管与加热组件
优先考虑的牌号
OME7505
75 Shore A · -10 to +320 °C
牌号数据OMS7102
75 Shore A · -10 to +300 °C
牌号数据OMS7503
70 Shore A · -10 to +275 °C
牌号数据各牌号适用说明
- OME7505——连续使用温度上限 320 °C
- OMS7102——上限 300 °C，且金属离子含量低
- OMS7503——压缩永久变形 17 %，适用于干法刻蚀与去胶
其他工况
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提供介质、温度与运动方式，我方确认牌号与公差等级。