Anwendungen
Vakuum
Ausgasungsarmes FFKM für Vakuum- und Ultrahochvakuumsysteme.
Typische Schwachstellen
- Ausgasung begrenzt den erreichbaren Basisdruck
- Permeation und Druckverformungsrest verursachen Leckagen über Temperaturzyklen
- Ausheiztemperaturen überschreiten die Grenzen konventioneller Elastomere
Prozessschritte
UHV- und HochvakuumdichtungThermische AusheizzyklenPlasma- und Ionenstrahlsysteme
Ausrüstung
Vakuumkammerklappen und FlanscheKF- / ISO- / CF-AnschlüsseDurchführungen und SichtfensterSchleusen und Absperrschieber
Werkstoffe, mit denen wir beginnen würden
OMS70S
73 Shore A · -10 bis +275 °C
WerkstoffdatenOMS7102
75 Shore A · -10 bis +300 °C
WerkstoffdatenOME7505
75 Shore A · -10 bis +320 °C
WerkstoffdatenEinsatzbereich der einzelnen Werkstoffe
- Ausgasungsarme Typen nach ASTM E595 (TML / CVCM je Typ angegeben)
- Niedriger Druckverformungsrest zur Aufrechterhaltung der Dichtkraft während des Bake-out
- Angegeben bis 1,33 × 10⁻⁷ Pa (interner Test)
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