Halbleiter
Ätzen / CVD / PVD / ALD · Plasma · Nassprozess
- OMS70S — transparenter Typ höchster Reinheit für O₂- / F-basiertes Plasma
- OMS7102 — weißer Typ mit niedrigem Metallionengehalt für Ätzen und CVD
- OME7505 — Typ für thermische Prozesse bis 320 °C